Državna kompanija iz Šangaja započela je masovnu proizvodnju immersion DUV litografskih mašina, a prve jedinice biće isporučene ove godine kineskim proizvođačima čipova SMIC, Hua Hong Semiconductor i ChangXin Memory Technologies (CXMT). Planirana proizvodnja je oko pet mašina u 2026. i 20 u 2027. godini. Ove kompanije su na listi subjekata koje američki zakon H.R. 8170 želi da odseče od ASML-ove prodaje i servisa.
Mašine su uglavnom domaće proizvodnje, iako neki kritični delovi dolaze iz Japana. SMIC testira Yuliangsheng-ov alat od septembra 2025. ASML očekuje isporuku oko 130 immersion sistema u 2026. godini, dok Kina čini oko 20% njihove prodaje. Nezavisne analize procenjuju da će kineski immersion DUV biti komercijalno dostupan tek sredinom 2030-ih, a ASML drži 98,7% tržišta.
