3 Tačke
Članak

Kineski startap predstavio prototip EUV izvora svetlosti

Langdao Silex je na sajmu u Šangaju prikazao prototip EUV izvora svetlosti snage 15 W i 90% domaćih komponenti, ali komercijalizacija sledi za tri do pet godina.

3 Tačke
50 sekundi čitanja

Kineski startap Langdao Silex, osnovan 2024. od strane alumnija Laboratorije za gasno‑pražnjenje plazme Univerziteta Tsinghua, predstavio je prototip ekstremno ultraljubičastog (EUV) izvora svetlosti na 26. Međunarodnom sajmu industrije u Šangaju. Sistem FlintNano LPP-OXXO koristi tehnologiju laserski proizvedene plazme (LPP) i postiže izlaznu snagu veću od 15 W, sa 90% domaćih komponenti i stabilnošću rada preko 100 sati. Međutim, izvor nije prikazan u radu, a snaga je verovatno merena na plazmi, a ne na srednjem fokusu kao kod ASML-a.

Iako je ovo napredak, izvor sam po sebi ne čini EUV skener. Langdao razvija i moćniji FlintMicro-LPP, ali bez objavljenih specifikacija. Za komercijalizaciju će biti potrebno tri do pet godina, a za potpunu EUV litografiju neophodni su i kolektorska optika, maske, precizne faze i integracija sistema. Trenutno nema dokaza da je Kina značajno bliža proizvodnji sopstvenih EUV mašina.

Teme

Povezani članci