Ruski Zelenogradski centar za nanotehnologiju (ZNTC) završio je treću fazu istraživanja i razvoja prvog domaćeg litografskog alata koji obrađuje ploče od 200 mm u 130nm procesu, prenosi CNews. Alat se trenutno interno testira i godine su potrebne da bi se koristio u stvarnoj fabrici za masovnu proizvodnju čipova. Ministarstvo industrije i trgovine izdvojilo je oko 70 miliona dolara za ceo program.
Iako je ZNTC nosilac projekta, dokumentacija pokazuje da je litografski sistem razvio beloruski Planar, dok su lasere napravili u Lassardu. Jedan steper košta oko 7,3 miliona dolara, što je znatno više od ASML-ovog modela iz 2001. Stručnjaci procenjuju da bi realan početak obrade komercijalnih pločica bio najranije 2029. godine.
